Stiftung Werner-von-Siemens-Ring | Halbleitertechnologie

Halbleitertechnologie Tag

kreisrund ausgeschnittene Portraibilder von Peter Kürz und Michael Kösters vor petrolblauem Grund. Fotos: ZEISS (links, Kürz) und TRUMPF (rechts, Kösters)
Werner-von-Siemens-Ring 2024 geht an Forscherteam um Dr. Peter Kürz (ZEISS) und Dr. Michael Kösters (TRUMPF) für die High-NA-EUV-Lithographie

Die Stiftung Werner-von-Siemens-Ring zeichnet ein Forscherteam von ZEISS SMT und TRUMPF für ihre bahnbrechende Entwicklung aus: die High-NA-EUV-Lithographie und die industrielle Nutzbarmachung der EUV-Technologie. Stellvertretend für ihre jeweiligen Teams erhalten die Ehrung Dr. Peter Kürz (ZEISS SMT) und Dr. Michael Kösters (TRUMPF). Die Preisverleihung des...